Профессия Оператор прецизионной фотолитографии (6-й разряд) в Едином Тарифно Квалификационном Справочнике

§ 86. Оператор прецизионной фотолитографии 6-й разряд

Характеристика работ.

Проведение всего цикла фотолитографических операций по изготовлению микросхем и пластин различных типов с размерами элементов менее 5 мкм и точностью совмещения +/- 0,5 мкм. Обслуживание всех видов установок совмещения, применяемых в прецизионной фотолитографии. Контроль качества проявленного и травленного рельефа, работа со всеми видами фоторезисторов (негативным и позитивным) с применением любых типов ламп ультрафиолетового свечения; самостоятельный подбор и корректировка режимов работы. Выявление и устранение причин, вызывающих низкое качество фотошаблонов в процессе их изготовления. Аттестация геометрических размеров элементов на маске с помощью микроскопов с точностью +/- 1 мкм. Изготовление сложных фотокопий масок и растров на пластинках из металла марки МП95-9 и стекла путем негативного и позитивного копирования с точностью совмещения оригиналов до 1 - 2 мкм.

Что должен знать:

• конструкцию, способы и правила проверки на точность оборудования прецизионной фотолитографии различных типов
• химические и физические свойства реагентов и материалов, применяемых в работе
• методы определения последовательности и режимов фотолитографических процессов для микросхем, дискретных приборов различной сложности
• расчеты, связанные с выбором оптимальных режимов ведения процесса прецизионной фотолитографии
• методы определения пленок на интерферометрах.Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

1. Микротранзисторы и твердые схемы - проведение полного цикла фотохимических операций при изготовлении.
2. Пластины БИС, СБИС, транзисторов, СВЧ-транзисторов с размерами элементов менее 5 мкм - контроль после задубливания, травления, фотолитографии; классификация по видам брака.
3. Фотошаблоны образцовые прецизионные - изготовление опытных партий.
4. Фотошаблоны эталонные - определение пригодности изготовленного комплекта для производства рабочих копий.