Трудовая функция "Проведение тестирования и верификации разработанного маршрута проектирования фотошаблонов"

Код
B/03.7
Уровень квалификации
7
Трудовые действия
  • Определение совместно с технологами участка изготовления фотошаблонов требований к тестовым топологическим элементам заданного технологического уровня, обусловленных технологическими возможностями используемого литографического оборудования
  • Разработка тестовых топологических элементов к фотошаблонам заданного технологического уровня
  • Формирование наборов тестовых топологических структур для всех критических слоев с целью создания калибровочных моделей
  • Размещение тестовых элементов в рабочем поле фотошаблона (меток и служебной технологической информации)
  • Выполнение процедур передачи управляющей информации на участок изготовления фотошаблонов
  • Проведение верификации и проверки литографических правил
  • Выполнение процедур запроса проведения контрольно-измерительных тестов изготовленного фотошаблона (толщина линий, наличие дефектов, геометрических отклонений)
  • Выполнение процедур запроса статистических данных для анализа корректности тестовых структур фотошаблонов
  • Формирование отчета о тестировании с использованием описания соответствия изготовленного фотошаблона исходным требованиям и рекомендациям по оптимизации размещения элементов топологии, выбору методов коррекции, повышению выхода годных
  • Внесение изменений в маршрутную карту проектирования фотошаблонов, обусловленных технологическими возможностями используемого оборудования и результатами тестирования
Требования к образованию и обучению
  • Технический английский язык
  • Основы технологии производства интегральных схем
  • Процессы электронно-лучевой литографии, лазерные генераторы изображения
  • Маршрут разработки и проектирования фотошаблонов
  • Системы проектирования программных средств, языки программирования
  • Методики верификации фотошаблонов
  • Методики измерения критических размеров элементов фотошаблона
  • Маршруты аттестации фотошаблонов через измерение рассовмещения фотошаблонов в наборе; определение и классификация дефектов; сравнение исходных и проектных топологических данных с реализованными на шаблоне заданного технологического уровня
Требования к опыту практической работы
  • Пользоваться технической документацией
  • Проводить полный цикл автоматизированного проектирования фотошаблонов
  • Автоматизировать этапы разработки, запуска и анализа результатов тестов
  • Применять методологию контроля линейных размеров топологических элементов
  • Владеть методами проектирования фазосдвигающих фотошаблонов
  • Создавать тестовые фотошаблоны для построения математической модели
  • Использовать соответствующие программные средства
< К профстандарту