Трудовая функция "Разработка требований, спецификаций и формирование перечня прикладного программного обеспечения маршрута проектирования фотошаблонов под требуемый уровень технологии"

Код
B/02.7
Уровень квалификации
7
Трудовые действия
  • Анализ документации используемого литографического, электронно-лучевого и контрольно-измерительного оборудования с целью определения технических возможностей проектирования и изготовления фотошаблонов с заданными параметрами
  • Выбор технических средств (или анализ имеющихся параметров) и специального программного обеспечения
  • Анализ методов и способов коррекции оптических искажений при изготовлении фотошаблонов для заданного технологического уровня
  • Разработка маршрутных карт, описывающих последовательность технологических операций проектирования фотошаблонов для заданного технологического уровня
Требования к образованию и обучению
  • Технический английский язык
  • Оптика (дифракция, интерференция, основы фурье-оптики)
  • Литографический процесс, особенности конкретного оборудования фотолитографии
  • Целевые системы автоматизированного проектирования
  • Методика проектирования фотошаблонов
  • Особенности конкретного оборудования, используемого для фотолитографии
  • Методики верификации фотошаблонов
  • Возможности скриптовых языков
  • Технологии выполнения коррекции эффектов оптической близости
Требования к опыту практической работы
  • Использовать методики коррекции оптических эффектов близости, коррекции фазового сдвига
  • Использовать целевые системы автоматизированного проектирования, формировать необходимые модификации системы автоматизированного проектирования
  • Определять оптимизированное размещение топологии кристалла с помощью специализированных программных платформ