Трудовая функция "Проведение подготовки управляющей информации для оборудования участка изготовления фотошаблонов"

Код
A/06.6
Уровень квалификации
6
Трудовые действия
  • Проведение операции разбиения элементов топологии кристалла на геометрические примитивы, соответствующие форматам технологических установок
  • Проверка выходных данных на соответствие техническому заданию
  • Проведение верификации проекта на соответствие правилам изготовления
  • Конвертация данных в формат используемого лазерного генератора изображений либо в формат установки, используемой сторонним изготовителем фотошаблонов
Требования к образованию и обучению
  • Целевые системы автоматизированного проектирования
  • Базовые методы защиты информации
  • Процессы литографии
  • Правила разработки документации в соответствии со стандартом организации
  • Методики верификации фотошаблона на соответствие правилам изготовления
Требования к опыту практической работы
  • Проводить анализ топологии фотошаблонов применительно к технологии их изготовления и используемому технологическому оборудованию
  • Проверять ключевые параметры конечной топологии на соответствие техническому заданию и правилам изготовления с учетом перекрытия слоев, расстояния между элементами, ширины элементов
  • Осуществлять перевод данных в управляющую информацию для лазерного или электронно-лучевого генератора изображений, установок контроля критических размеров, аттестации на дефектность