Трудовая функция "Проведение оптимизации параметров топологии в соответствии с техническим заданием"

Код
A/04.6
Уровень квалификации
6
Трудовые действия
  • Проведение верификации параметров исходной топологии (тональность, критичные размеры, габаритные размеры поля фотошаблона, координаты центра, наличие маркировки, метки совмещения, метки для проекционной литографии) на соответствие техническому заданию и правилам проектирования
  • Проведение обработки топологии фотошаблона в соответствии с требованиями технического задания (операции позиционирования слоя, изменение тональности слоя, коррекции размеров для каждого слоя, коррекции эффектов оптической близости, коррекции фазового сдвига для слоя с применением фазосдвигающих масок)
Требования к образованию и обучению
  • Технический английский язык
  • Оптика - дифракция, интерференция
  • Процессы электронно-лучевой и оптической литографии
  • Целевые системы автоматизированного проектирования
  • Маршрут разработки и проектирования фотошаблонов
  • Методики верификации фотошаблонов
  • Возможности скриптовых языков
  • Базовые маршруты разработки и верификации сверхбольших интегральных схем, в том числе систем на кристалле
Требования к опыту практической работы
  • Проверять ключевые параметры топологии (тональность, критичные элементы, габаритные размеры, метки совмещения, метки проекционной литографии) на соответствие техническому заданию и правилам проектирования
  • Проводить конвертацию топологических данных во внутренний формат оборудования
  • Владеть методологией коррекции оптических эффектов близости, контроля линейных размеров топологических элементов
  • Проводить обработку топологии фотошаблонов в соответствии с требованиями технического задания
  • Создавать служебные элементы фотошаблонов: метки совмещения, мультипликации, штрих-код, текстовые метки
  • Проводить полный цикл автоматизированного проектирования фотошаблона
< К профстандарту