Трудовая функция "Создание математических моделей элементов коррекции оптических эффектов близости и проведение калибровки созданных математических моделей"

Код
A/02.6
Уровень квалификации
6
Трудовые действия
  • Анализ технических возможностей литографического оборудования для проектирования фотошаблонов данного технологического уровня
  • Определение необходимости проведения коррекции оптических эффектов близости
  • Формирование скриптов коррекции и проведение коррекции оптических эффектов близости
  • Проведение анализа методов коррекции оптических эффектов близости при проектировании фотошаблонов
  • Определение и согласование с технологами участка изготовления фотошаблонов параметров коррекции эффектов оптической близости для формирования технологического рисунка на фотошаблоне
Требования к образованию и обучению
  • Технический английский язык
  • Раздел общей физики: оптика (дифракция, интерференция), основы фурье-оптики
  • Процессы электронно-лучевой и оптической литографии, технологии формирования топологического рисунка с помощью лазерных генераторов изображения
  • Особенности литографического оборудования при изготовлении фотошаблона
  • Химические процессы травления фоторезиста
  • Целевые системы автоматизированного проектирования
  • Маршруты разработки и проектирования фотошаблонов
  • Методики верификации фотошаблонов
  • Возможности скриптовых языков
  • Булева алгебра
  • Методы создания моделей коррекции оптических эффектов близости
Требования к опыту практической работы
  • Владеть методиками работы со специализированными программными платформами проектирования и верификации фотошаблонов
  • Анализировать методы коррекции оптических эффектов близости и коррекции фазового сдвига
  • Владеть способами коррекции оптических эффектов близости в пределах используемой системы автоматизированного проектирования
  • Использовать и правильно комбинировать алгоритмы и программы для оптимального проектирования фотошаблонов
< К профстандарту