Трудовая функция "Реализация технологии на основе проекционной литографии"

Код
B/05.7
Уровень квалификации
7
Трудовые действия
  • Анализ КД и ТЗ в части требований к реализации ТП на основе проекционной литографии
  • Техническая проверка исходных файлов топологии МИС СВЧ для изготовления фотошаблонов
  • Руководство изготовлением комплекта фотошаблонов в соответствии с ТЗ
  • Руководство подготовкой подложек для проведения последовательности операций ТП, основанного на проекционной литографии (фотолитографии)
  • Подготовка установки проекционной литографии к проведению операций
  • Руководство реализацией последовательности операций изготовления МИС СВЧ после экспонирования подложек
  • Измерение параметров тестовых структур и элементов МИС СВЧ на подложке, оформление протокола и внесение данных в базу данных участка проекционной литографии
  • Передача подложки на следующий участок в соответствии с маршрутной картой
  • Регламентные работы по тестированию установок проекционной литографии
Требования к образованию и обучению
  • Технология производства МИС СВЧ на основе проекционной литографии
  • Стандарты для подготовки технологической документации
  • САПР подготовки файлов топологии для проекционной литографии
Требования к опыту практической работы
  • Работать с нормативной документацией
  • Работать в САПР подготовки ТД для производства МИС СВЧ
< К профстандарту