Трудовая функция "Реализация технологии на основе электронной литографии"

Код
B/04.7
Уровень квалификации
7
Трудовые действия
  • Анализ КД и ТЗ в части требований к реализации ТП на основе электронной литографии
  • Техническая проверка исходных файлов топологии МИС СВЧ для проведения электронной литографии
  • Руководство подготовкой подложек для проведения операций экспонирования фоторезистов на установке электронной литографии
  • Подготовка установки электронной литографии к проведению операций прорисовки топологии
  • Руководство реализацией операций резист-процессинга после экспонирования подложек
  • Измерение параметров тестовых структур и элементов МИС СВЧ на подложке, оформление протокола и внесение данных в базу данных участка электронной литографии
  • Передача подложки на следующий участок в соответствии с маршрутной картой
  • Регламентные работы по тестированию установки электронной литографии
Требования к образованию и обучению
  • Методы электронной литографии
  • Технология производства МИС СВЧ на основе электронной литографии
  • Стандарты для подготовки технологической документации
  • САПР подготовки файлов топологии для электронной литографии
Требования к опыту практической работы
  • Работать с нормативной документацией
  • Работать в САПР подготовки ТД для производства МИС СВЧ
< К профстандарту