Профессия Оператор вакуумно-напылительных процессов (6-й разряд) в Едином Тарифно Квалификационном Справочнике

§ 13. Оператор вакуумно-напылительных процессов 6-й разряд

Характеристика работ.

Напыление металлических, резистивных и диэлектрических пленок на установках различных типов. Самостоятельный выбор способа нанесения пленок (термическое осаждение в вакууме, катодное распыление, осаждение из газовой фазы, электронно-лучевое и магнетронное напыление и т.д.). Отработка режимов напыления.

Что должен знать:

• конструкцию, способы и правила проверки на точность различных типов оборудования для напыления микропленочных структур
• методы определения способа нанесения пленок и последовательности процесса
• правила определения режимов получения пленочных микроструктур
• методы контроля параметров пленок
• физику процесса получения пленочных микроструктур различными способами.Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

1. Микросхемы пленочные, полупроводниковые приборы - изготовление опытных образцов на установках различных типов с двухслойной или многослойной металлизацией.
2. Пластины кремния различных типов - сплавление с одновременным нанесением алюминия.
3. Пластины со структурами - многослойное напыление на установках различных типов.
4. Покрытия оптические - просветление трехслойное двухстороннее.
5. Фильтры интерференционные - нанесение двух двенадцатислойных зеркал с промежуточным слоем лямбда/