Профессия Оператор вакуумно-напылительных процессов (5-й разряд) в Едином Тарифно Квалификационном Справочнике

§ 12. Оператор вакуумно-напылительных процессов 5-й разряд

Характеристика работ.

Напыление различными способами (термическое испарение, катодное распыление, электронно-лучевое и магнетронное напыление) однослойных и многослойных пленочных микроструктур для изделий с субмикронными размерами или с повышенной степенью интеграции с выбором оптимальных режимов напыления в пределах допусков, указанных в технологической документации. Обслуживание установок с программным управлением. Наблюдение за режимами процесса. Работа с измерительной аппаратурой с целью регистрации и поддержания режимов осаждения пленок. Сравнительный контроль качества просветляющих пленок по эталону.

Что должен знать:

• электрические и вакуумные схемы, способы проверки на точность различных моделей вакуумных напылительных установок
• конструкцию обслуживаемого оборудования
• правила определения режимов работы оборудования для получения металлических, резистивных пленок
• правила настройки и регулирования контрольно-измерительных инструментов и приборов
• электрофизические свойства взаимодействия полупроводник - металл, металл - металл
• основы электротехники и порядок работы вакуумной техники.Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

1. Диски для видиконов - двух-, трехслойное напыление.
2. Линзы из стекла К-8 оптической толщины лямбда/4 - нанесение одного слоя MgFe2 (просветление).
3. МДП-структуры - изготовление молибденового затвора.
4. Пластины C ч As - напыление Ag с подслоем Cr.
5. Пластины стеклянные - напыление маскирующих, кварцевых покрытий.
6. Пластины полупроводниковые (диодные матрицы, СВЧ - транзисторы, БИС, СБИС, ЗУ, стабилитроны) - одно- или двухслойное напыление различными способами.
7. Пленка полистирольная или стирофлексная, конденсаторная бумага - напыление различных металлов на вакуумной установке.
8. Пленки полупроводниковые и контактные площадки - напыление на монокристаллические подложки германия, кремния, арсенида галлия.
9. Подложки кварцевые - нанесение 15 слоев равной оптической толщины лямбда/4 (зеркало с коэффициентом отражения 99%).
10. Приборы квантовые - напыление семи-, одиннадцатислойных зеркал.