Профессия Оператор плазмохимических процессов (7-й разряд) в Едином Тарифно Квалификационном Справочнике

§ 28. Оператор плазмохимических процессов 7-й разряд

Характеристика работ.

Проведение процессов плазмохимической очистки и травления полупроводниковых материалов на экспериментальном и опытном оборудовании. Проведение многостадийных процессов травления. Плазмохимическое травление многослойных структур. Анизатропное травление поликремния. Сборка и разборка внутрикамерного устройства и его чистка. Отыскание течей вакуумных систем и принятие мер к их устранению.

Что должен знать:

• конструкцию экспериментального и опытного оборудования для проведения плазмохимических процессов
• правила ведения плазмохимического травления многослойных структур и ведения многостадийных процессов
• методы отыскания течей в вакуумных системах и способы их устранения и предупреждения.Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

1. Кремниевые пластины - плазмохимическое травление AL/SL; ASI/TIW.
2. Кремниевые пластины - плазмохимическое травление ФСС, БФСС, SiO2 селективно к SI, ПКК при формировании контактов.