Профессия Оператор диффузионных процессов (7-й разряд) в Едином Тарифно Квалификационном Справочнике

§ 20. Оператор диффузионных процессов 7-й разряд

Характеристика работ.

Ведение сложных высокотемпературных процессов диффузии на оборудовании и оборудовании с микропроцессорным программным управлением с применением различных типов диффузантов. Ведение процесса окисления кремниевых пластин пирогенным способом. Расчет необходимых пропорций кислорода и водорода в их смеси. Одновременное проведение трех процессов окисления или диффузии. Выбор способа формирования диэлектрика в зависимости от назначения и требований нему. Получение р-п переходов и контроль их вольт-амперных характеристик на измерителе Л2-56. Сбор и обработка информации с помощью компьютера. Анализ причин возникновения брака на операциях высокотемпературных обработок и принятие мер по его устранению.

Что должен знать:

• устройство и принцип работы обслуживаемого оборудования
• назначение и условия применения контрольно-измерительного оборудования (спектрофотометры MPVSD, "Suzfscan", ЛЭФ-3М)
• назначение окисных пленок и диффузионных слоев и требования к ним
• факторы, определяющие скорость роста окислов
• механизмы диффузии в полупроводниках
• виды брака на термодиффузионных операциях, причины его возникновения и способы устранения
• способы получения р-п переходов и методы определения их годности.Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

1. Изолирующий окисел - пирогенное окисление.
2. Диффузия фосфора в поликремний - легирование затвора.