Профессия Оператор диффузионных процессов (5-й разряд) в Едином Тарифно Квалификационном Справочнике

§ 18. Оператор диффузионных процессов 5-й разряд

Характеристика работ.

Ведение сложных процессов диффузии и окисления в диффузионных печах различных типов (в том числе с программным управлением) с применением твердых, жидких и газообразных диффузантов. Составление программ проведения процесса. Введение легирующих присадок в кремний, германий, арсенид галлия. Обслуживание печей непрерывного действия, водородной, вакуумной установок. Измерение электропараметров БИС, СБИС и транзисторных структур. Проведение элементарного расчета параметров диффузионных слоев. Анализ экспериментальных данных по результатам измерений параметров диффузионных слоев, окисных пленок. Контроль и корректировка режимов технологических процессов диффузии, окисления, отжига ионно-легированных слоев. Сборка, вакуумирование и отпайка кварцевых ампул с мышьяком, сурьмой, бором и их соединениями в качестве лигатуры. Сборка газовой системы и проверка ее герметичности. Определение неисправностей в работе оборудования и их устранение.

Что должен знать:

• электрические и газовые схемы обслуживаемого оборудования, правила его наладки на заданный режим
• правила настройки и регулирования приборов для контроля процесса
• очистительную систему для газов, поступающих в установку
• правила определения режимов работы
• влияние характеристик диффузионных слоев на параметры получаемых приборов.Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

1. Диффузия цинка в парах мышьяка или фосфора в тройные соединения.
2. Пластины кремния - диффузия бора, фосфора, мышьяка в печах с программным управлением типа СДО-125/3-
4. Пластины кремния - окисление при повышенном давлении; создание скрытых слоев; легирование сурьмой и мышьяком в печах с программным управлением.
5. Пластины кремния - создание подзатворного диэлектрика и контроль его параметров.