Профессия Оператор вакуумно-напылительных процессов (3-й разряд) в Едином Тарифно Квалификационном Справочнике

§ 10. Оператор вакуумно-напылительных процессов 3-й разряд

Характеристика работ.

Напыление многослойных пленочных микросхем на вакуумных и плазменных установках. Установка подложек, масок, экранов и испарителей в рабочую камеру вакуумной установки. Загрузка навесок испаряемых материалов (золото, алюминий, нихром и др.) на испарители различных конструкций. Замена мишеней на установках магнетронного напыления. Контроль электрических параметров процесса напыления; определение качества напыляемых слоев и толщины полученных пленок с помощью микроскопа.

Что должен знать:

• устройство, принцип действия и способы подналадки обслуживаемого оборудования
• устройство универсальных и специальных приспособлений, контрольно-измерительных приборов
• назначение процесса откачки
• режимы испарения и осаждения распыляемого материала
• способы и методы контроля степени вакуума
• основные свойства и характеристики испаряемых материалов
• основные законы электротехники и вакуумной техники.

Примеры работ

1. Кристаллические элементы кварцевых резонаторов - напыление.
2. Приборы квантовые - напыление трехслойных зеркал.
3. Подложки, пленки, ситалловые спутники - напыление алюминия, золота, нихрома, индия, ванадия, никеля, молибдена с контролем качества и толщины напыленного слоя.
4. Резисторы - напыление на ситалловую подложку через маску.