Профессия Оператор по наращиванию эпитаксиальных слоев (5-й разряд) в Едином Тарифно Квалификационном Справочнике
§ 23. Оператор по наращиванию эпитаксиальных слоев 5-й разряд
Характеристика работ.
Ведение процессов наращивания многослойных эпитаксиальных структур, диэлектрических слоев. Наращивание сверхтонких поликристаллических, диэлектрических, металлических слоев. Устранение разброса параметров слоев различными методами. Замена стаканов и настройка индукторов по температурному режиму на установках, использующих ВЧ-нагрев. Настройка температурного режима процесса на установках, использующих инфракрасные и другие виды нагрева. Задание режимов на электронной системе управления технологическим процессом.Что должен знать:
- электрическую и газовую схему обслуживаемого оборудования, способы ее проверки, основные неисправности и методы их устранения
- режимы и правила проведения процессов для получения сложных и многослойных эпитаксиальных структур, поликристаллических, диэлектрических, металлических слоев
- правила настройки и регулировки приборов для контроля процесса, основы теории процесса эпитаксиального наращивания
- правила работы с электронной системой управления технологическим процессом.Требуется среднее профессиональное образование.
Примеры работ
- Структуры многослойные эпитаксиальные - наращивание с заданными параметрами.
- Структура многослойная диэлектрик-полупроводник - наращивание.
- Слои тонкие эпитаксиальные - наращивание.
Правильно работать со справочником помогут материалы КонсультантПлюс:
Правильно работать со справочником помогут материалы КонсультантПлюс:
Комментарии
Автор что-то упустил? Информация неверна или устарела? Остались вопросы? Есть сомнения? Высказывайтесь в комментариях!