Профессия Аппаратчик восстановления полупроводниковых материалов (3 - 5 разряды) в Едином Тарифно Квалификационном Справочнике

§ 1. Аппаратчик восстановления полупроводниковых материалов 3 - 5 разряды

Характеристика работ.

Ведение процессов восстановления полупроводниковых материалов (хлориды кремния, германия, моносилана и др.) в электрических печах с заданными электрофизическими, фотоэлектрическими и оптическими свойствами, геометрическими размерами, а также конденсации продуктов реакции из парогазовой смеси. Дозированное легирование в процессе восстановления. Наблюдение за режимами процессов и их регулирование. Регулирование температуры процесса согласно режимной карте, скорости подачи исходных компонентов и газа-восстановителя, силы тока и напряжения, давления и разрежения в системе, расхода газа и охлаждаемой воды. Наладка и обслуживание печей, вакуумной аппаратуры, установок тонкой очистки водорода, установок конденсации продуктов реакции, контрольно-измерительных приборов, средств автоматики и сигнализации. Прием сырья и материалов, подача и загрузка сырья и полуфабрикатов. Подготовка лигатуры, графитовой и другой оснастки. Отбор проб. Продувка реактора нейтральным газом. Участие в ремонте обслуживаемого оборудования. Монтаж и демонтаж печей. Снятие реактора и переноска его к месту демонтажа. Проверка герметичности печей. Зарядка и наладка аппаратуры. Мойка реактора. Чистка печей, воздуховодов, конденсаторов от побочных продуктов реакции. Ведение записей показателей работы печи, хода технологического процесса. Вскрытие печей после процесса и выгрузка готовой продукции. Постоянное поддержание чистоты на рабочем месте. Дегазация оборудования и помещений при загрязнении их токсичными веществами.

Что должен знать:

• технологическую схему производства
• режимы и методы восстановления полупроводниковых материалов
• устройство основного и вспомогательного оборудования, контрольно-измерительных приборов, средств автоматики и сигнализации
• физико-химические свойства сырья, готовой продукции и вспомогательных материалов
• технические условия и государственные стандарты на сырье, готовую продукцию и вспомогательные материалы
• основа легированная и правила расчета лигатуры
• режимные карты и рабочие инструкции
• основы электротехники, вакуумной техники, физики, химии, электроники, кристаллографии
• основы технологических процессов
• правила выявления и устранения неисправностей в работе обслуживаемого оборудования
• системы технологических и энергетических коммуникаций.При ведении процесса восстановления полупроводниковых материалов под руководством аппаратчика более высокой квалификации - 3-й разряд.При ведении процесса восстановления полупроводниковых материалов с корректировкой процесса
• при подготовке и обработке оснастки - 4-й разряд.При ведении процесса восстановления полупроводниковых материалов с отработкой технологии по заданным свойствам, наладке технологии и технологического оборудования - 5-й разряд.Требуется среднее профессиональное образование.